Piezo-Gaseinlassventil
Ermöglicht sehr genaues Einlassen extrem geringer Gasmengen in UHV- oder HV-Anlagen (Ionenquellen, Sputteranlagen, Bedampfungsanlagen usw.), sowohl manuell durch Anlegen einer DC-Spannung
zwischen 0-150V oder mit Druckregelung.
Anschlüsse:
CF40-Flansch mit zentralem M5-Gewinde, 3mm Swagelok, BNC
Markteinführung mit mehr Informationen in Kürze!